Метод обычно используется для создания изображений форм объектов с высоким разрешением и для отображения пространственных вариаций химического состава: 1) получение элементарных карт или точечный химический анализ с использованием EDS, 2) распознавание фаз на основе среднего атомного номера (обычно связаны с относительной плотностью) с использованием BSE, и 3) композиционные карты, основанные на различиях в «активаторах» микроэлементов (обычно переходных металлов и редкоземельных элементов) с использованием CL.
сканирующая электронная микроскопия также широко используется для идентификации фаз на основе качественного химического анализа и / или кристаллической структуры. Точное измерение очень мелких деталей и объектов размером до 50 нм также выполняется с помощью SEM. Обратно-рассеянные электронные изображения может использоваться для быстрой дискриминации фаз в многофазных образцах. СЭМ, оснащенные детекторами дифрагированных обратно рассеянных электронов, можно использовать для исследования микротканей и кристаллографической ориентации многих материалов.

Пожалуй, нет другого инструмента с широтой применения в исследовании твердых материалов, который мог бы сравниться с этим методом. Сканирующая микроскопия имеет решающее значение во всех областях, требующих определения характеристик твердых материалов.
Читать дальше →